1

64:3:33

HNO₃ : NH₄F : H₂O

100 angstroms/s

2

61:11:28

Ethylenediamine : C₆H₄(OH)₂ : H₂O

78 angstroms/s

3

108ml : 350g : 1000ml

HF : NH₄F : H₂O

slow – 0.5 angstroms/min

4

1:1:50

HF : HNO₃ : H₂O

slow etch

5

KCl dissolved in H₂O

6

KOH : H₂O : Br₂/I₂

7

KOH

8

40% or diluted

KOH

300~2000

（取决于浓度和温度）

60℃-90℃

Si₃N₄

9

1 : 1 : 1.4 : 0.15% : 0.24%

HF : HNO₃ : HAc : I₂ : triton

10

1:6:3

HF : HNO₃ : HAc

11

ａnd 0.19 g NaI per 100 ml solution

12

1:4

Iodine Etch : HAc

13

0.010 N

NaI

14

NaOH

15

HF : HNO₃

16

1:1:1

HF : HNO₃ : H₂O