由于SF6是易于生成有毒有害物质的硫和氟这两个元素组成，而且在SF6分子中氟原子多达六个。在加上曾发生过与SF6使用有关的中毒事故，因此在不熟悉者当中存在一种当然的疑问，担心甚至误认为SF6本身就是个有毒有害的物质。为此国内外均做过大量生物染毒试验，并采用了十分苛刻的条件，即把SF6取代空气的氮气，用79%的SF6和21%的氧气混合后，通入动物染毒缸。用其白老鼠在其中暴露24小时，然后再在空气中放置观察72小时，结果动物均未出现中毒症状。能通过上述试验的物质，卫生学上称无害物质，药理学上称非活性气体。

SF6气体检漏仪

此外SF6可在医学上作人工气胸时使用，这也可以做它无毒无害的一个佐证。

国际上将有毒物质分剧毒、高毒、中等毒性、低毒、基本无毒、实际无毒六级，并规定有相应对应标准。

如上所述，目前SF6气体无毒无害，可安全使用。仅仅提出，由于SF6气体比重五倍而且容易液化，因此有可能造成SF6在低凹处滞留而引起局部缺氧活在密封容器中充气过量的问题，对此应予以注意。

美国1997年规定工作现场空气中SF6允许溶度为1000ppm。