高精度真空位移台是为真空环境要求生产的真空电动定位台和电动真空位移台,采用适合真空度高达10^-6Torr的真空直流电机,所有的机械部件都使用高度真空润滑脂润滑,充分做到真空应用设计。
高精度真空位移台直流电机提供更平滑的运动和闭环操作,电机减速齿轮数量多，提供高分辨率，但相应地低速度。是要求高精度又对速度限制不敏感应用d电动位移台。
真空电动位移台铝零件没有进行过阳极氧化处理。在装运发送之前，真空电动位移台会在真空室中进行清洗和包装，购买后可立即置入真空室中，不会破坏真空室。清洁和包装费要另外结算，不包括在工作台价格内.
高精度真空位移台规格
| 型号 | 8MT173V-10DCE | 8MT173V-20DCE | 8MT173V-25DCE | 8MT173V-30DCE |
| 行程范围 | 10mm | 20mm | 25mm | 30mm |
| 螺距 | 0.25mm | |||
| 分辨率 | 0.1μm | |||
| 小步进增量 | 0.028μm | |||
| 双相重复精度 | 0.4μm | |||
| 速度* | 0.16mm/s | |||
| 负载能力 | ||||
| 水平负载 | 5kg | |||
| 垂直负载 | 1kg | |||
| 真空电缆 | 标配2米 | |||
| 电机连接接口 | HDB15(M) | |||
| 电机类型 | DCE1841 | |||
| 重量 | 0.43kg | 0.46kg | 0.47kg | 0.48kg |
| 多轴位移台系统搭建配件: | ||||
| X-Y轴搭建 | 2CP173V-20 | |||
| Z轴搭建 | 2AB173V-20 | |||
| 控制器 | 8SMC5-USB | |||
高精度真空位移台配备有高度真空兼容的Sub-D接口连接器,9或15针连接器。连接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外壳是不锈钢,适用于高度真空10^-6毫巴和温度高达110°C的环境。
高精度真空位移台高度真空Sub-D连接器规格：
真空：10^-6毫巴
主体材料：DEP
温度范围：-55°C至110°C
针材质：镀金铜合金
其他尺寸大小的连接器和真空密封装置也可提供
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