等离子清洗机在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．

　　真空等离子清洗机的原理表面活化增强附着力包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，真空泵开始抽气至一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。利用等离子高能粒子与材料表面发生物理和化学反应，可以实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理，以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。

　　等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

　　一、控制单元

　　国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

　　而控制单元又分为两个大的部分：

　　1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、、，其中是需要电源匹配器的。

　　2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

　　二、真空腔体：

　　真空腔体主要是分为两种材质的：

　　1）不锈钢真空腔体。

　　2）石英腔体。

　　三、真空泵：

　　真空泵分为两种：

　　1）干泵。

　　2）油泵。

　　采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；