一、真空热处理炉根据用途可分为真空淬火（固溶）炉、真空回火（时效）炉、真空退火炉等。
1．真空淬火炉：真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空气淬炉两种形式。
1.1 真空油淬炉主要适用于合金结构钢、轴承钢、工具钢、模具钢、弹簧钢、高温合金、不锈钢、磁性材料的真空处理等。其主要特点是适用材料范围广、零件变形相对较大、需后续清洗、淬火油可重复使用、成本相对较低。真空油淬炉的结构形式可分为双室、三室等。
1.2真空高压气淬主要适用于高合金工模具钢、高速钢、部分高温合金和不锈钢等的真空处理。其主要特点是处理零件变形相对较小、处理后不需后续清洗、适用材料范围小、淬火气体（N2）不可回收、成本相对较高 。真空高压气淬炉的结构形式可分为单室、双室和三室等。真空高压气淬炉一般淬火压力为6bar（1bar =105 pa）。为了扩大气淬炉的使用范围，可以提高淬火压力至10bar以至更高 。用于环状、筒状及细长杆零件真空高压气淬，可选用立式结构（VGQV系列）。
1.3 常用的淬火材料和相对炉型见附表1。
2．真空回火炉：真空回火炉可分为单室、双室等形式。zui高温度一般为700℃，用镍铬带加热。真空回火炉一般用于要求回火后表面光亮的工件处理，为了防止一些材料回火后产生二次脆性，可选用双室油冷回火炉，提高冷却速度。
3．真空退火炉：退火炉根据用途可分为高温（使用温度1000℃以上及中温退火炉1000℃以下）。根据退火材料形状不同可选卧式（VAF型）和立式（VAFV型）结构。
二、真空炉加热室类型的选择：分为石墨屏型和金属屏型。
石墨屏型：适用于一般的钢材的淬火炉，退火炉等。
金属屏型（钼）：适用于对炉内环境要求较高的淬火炉，退火炉。（如高温合金、钛合金、不锈钢等）。
金属屏型（不锈钢）：适用于回火炉等低温炉。
三、真空度的选择
一般材料（如结构钢、轴承钢、工具钢、模具钢等）的真空热处理可选用中真空（极限真空度4×10-1pa）。对要求较高的材料（如钛合金、磁性材料、高温合金、部分不锈钢等）的热处理，可选用高真空（极限真空度为6×10-3pa以上）。
见附表1。
