光谱仪的精度业内人士通常理解为仪器的精密度,包括短期精密度和长期精密度,但对于使用者常常理解为准确度，实际两者是可以统一的，精密度好的仪器，准确度一定能调试好，反之则不能。

光谱仪的精密度与仪器的灵敏度关联度非常高，一般情况高灵敏度仪器精密度也高，比如一条谱线实际光强为10lm，假设探测器灵敏则转化为1000µA,探测器不灵敏则可能为100µA，示值就有10倍的差距，就像用米尺去测工件，误差在毫米以上。当然还有数值处理方法和人为因素，在这里不讨论。那么灵敏度与哪些因素有关呢？本文归纳以下几点：

（1）光源的特性，其中包括光源能量、频率特性、单火花脉冲能量、放电波形等，因此良好的光源一定是千百次对不同材料试验调整的结果；

（2）光栅的衍射效率，光栅的制造的特点是个体的差异性很大，少见两块衍射曲线*一样的光栅，这是光栅的制造工艺决定的。高的衍射效率有效信号损失的就小，才能将更真实的信号呈现在探测器接收面；

（3）探测器的性能，一个灵敏且稳定的探测器是对信号强度真实反映的条件；

（4）软件数学模型，一个真实信号不仅仅是剔除背景，而是瞬态和趋势的即时展现，尤其大数据高速采样，已经突现软件建模的数值计算技巧和深奥数理结合的重要性。