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常用真空泵的工作压强范围及起动压强

2025年10月01日 11:10:13      来源:厦门精艺兴业科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:4

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常用真空泵的工作压强范围及起动压强

真空泵种类

工作压强范围(Pa

起动压强(Pa

活塞式真空泵

旋片式真空泵

水环式真空泵

罗茨真空泵

涡轮分子泵

水蒸气喷射泵

油扩散泵

油蒸气喷射泵

分子筛吸附泵

溅射离子泵

钛升华泵

锆铝吸气剂泵

低温泵

1×105—1.3×102

1×105—6.7×10-1

1×105—2.7×103

1.3×103—1.3

1.3—1.3×10-5

1×105—1.3×10-1

1.3×10-2—1.3×10-7

1.3×10—1.3×10-2

1×105—1.3×10-1

1.3×10-3—1.3×10-9

1.3×10-2—1.3×10-9

1.3×10—1.3×10-11

1.31.3×10-11

1×105

1×105

1×105

1.3×103

1.3

1×105

1.3×10

<1.3×105

1×105

6.7×10-1

1.3×10-2

1.3×10

1.31.3×10-1


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