等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。
等离子刻蚀机的优势：
等离子刻蚀机是利用高能电子轰击气体产生等离子体，利用其化学反应特性实现材料表面的加工。等离子体是一种带电的气体体系，其中电子、离子、原子和分子之间相互作用，从而产生各种化学反应。
等离子刻蚀机中的等离子体可以通过两种方式产生，一种是射频电涡流放电，另一种是微波功率放电。射频电涡流放电是在射频电场作用下，气体加热变成等离子体，放电工作稳定，但是不能实现高密度等离子体。而微波功率放电则能产生更高密度、更强活性的等离子体，但是工作不太稳定。
