氟硅橡胶与甲基乙烯基硅橡胶相比，其耐油、耐溶剂、耐化学药品性极其优良;即使与氟橡胶相比，耐油、耐溶剂性也是良好的。在相同介质、温度、时间下浸渍后均显示出了优良的耐久性，可以说氟硅橡胶是**一种在-68℃～232℃下耐非极性介质的弹性体。氟硅橡胶的耐含甲醇汽油性也比较好，即使在汽油/甲醇混合体系中，其硫化胶的硬度、拉伸强度、体积变化都很小，经500小时长时间的浸渍试验后，各项物性也几乎没有变化。 氟硅橡胶的高温分解与硅橡胶一样，即：侧链氧化、主链断裂、侧链热分解和引起各种复合反应。由于分解产物也会引起主链断裂，所以耐热性通常比硅橡胶要差一些，在200℃的温度下已开始氧化老化。但通过添加铁、钛、稀土类氧化物等少量的热稳定剂便可使其获得显著的改善，即使在250℃高温下也具有足够的耐热性。温度对氟硅橡胶影响比硅橡胶大，但比氟橡胶小。
氟硅橡胶与普通硅橡胶一样，低温性能良好。由于氟硅橡胶是以柔软的Si-O为主链构成的线型高聚物，所以低温特性优于以C-C为主链的氟橡胶。其中，氟硅橡胶的低温特性更好，脆性温度低达-89℃，而一般的氟橡胶约为-30℃。
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