低温灭菌方法是利用化学灭菌剂杀灭病原微生物的方法。常用的有环氧乙烷气体灭菌、过化氢低温等离子体灭菌、低温甲醛蒸汽灭菌。坏氧Ｚ烷与体灭菌环氧乙烷是一种无色气体，低浓度时无味。其气体穿透力强，对微生物的蛋白质、ＤＮＡ、ＲＮＡ产生非特异性的烷基化作用，使其失去新陈代谢的基本反应基而被杀灭，杀菌力强，杀菌谱广，灭菌效果可靠，对灭菌物品损害较小等。环氧乙烷气体灭菌适用于不耐热、不耐湿的诊疗器械、器具和物品的灭菌，如电子仪器、光学仪器、纸质制品、化纤制品、塑料制品、陶瓷及金属制品等诊疗用品，不适用于食品、液体、油脂类、粉剂类等灭菌。

环氧乙烷灭菌包括预热、预湿、抽真空、通入气体环氧乙烷达到预定浓度、维持灭菌时间、清除灭菌柜内环氧乙烷气体、解析灭菌物品内环氧乙烷的残留等过程。环氧乙烷气体为易燃易爆、有毒气体，在使用时需注意做好自我防护，严格按照灭菌器操作要求进行操作，违规操作将造成有毒气体泄露，不但会造成人员身体伤害并存在爆炸及火灾危险。环氧乙院气体灭菌需根据灭菌物品的种类、包装、装载量与方式不同，选择合适的温度、浓度和时间等灭菌参数，灭菌物品需保证清洁干燥，避免过量装载，以免造成灭菌失败。