用于镜面电火花加工的电极材料一般是紫铜或者洛铜，洛铜的电极损耗更小。选用的铜材必须质地均匀、含杂质少，不良的铜材在镜面加工中容易出现电极损耗大、表面起皱等异常，这个要高度重视。铜铜合金电极虽然可以实现极低的电极损耗，但镜面效果欠佳。
镜面电火花加工用的电极必须进行精修抛光，不能有刀痕与缺陷，否则这些缺陷会复制到工件的加工表面，但并不是要求电极的表面要达到镜面要求。

一般镜面加工电极的尺寸缩放量取单侧0.2～0.05 mm，精加工电极一般取单边0.1mm，在加工面积比较小时可取小一些，仿形精度要求高时可取小一些，混粉加工时适当取大一些。如果电极尺寸缩放量取得太小，加工速度会受到极大地降低。
精密的镜面电火花加工要用使用多个电极。这就要求多个电极的一致性要好、制造精度要高，更换电极的重复装夹、定位精度要高。一般采用高速铣制造电极、使用基准球测量的定位方法、使用快速装夹定位系统进行重复定位等*工艺来满足。