英诺赛科成功导入ASML光刻机

      2021年12月8日，英诺赛科（珠海）科技有限公司为ASML光刻机成功导入8英寸硅基氮化镓量产线举办了庆典。英诺赛科于2021年引入ASML光刻机，凭借着其的成像性能和的TWINSCAN架构（双晶圆工件平台），英诺赛科进一步提升了硅基氮化镓功率器件制造的产能及产线良率。此次庆典上，ASML副总裁兼中国区总经理沈波代表ASML被英诺赛科授予“战略合作伙伴”称号。

晶瑞电材：公司已购得KrF光刻机

       晶瑞电材表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶（光刻胶厌氧烘箱）量产化生产线正在积极建设中。

      此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已经到位5台光刻机。

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