有降温功能真空烘箱，快速降温真空烤箱可快速降温，提高生产效率；充氮气降低氧浓度，防止产品在高温状态被氧化。用于键合预处理，晶圆，芯片，电容，电池，封装，光刻胶固化，PI固化，无氧化烘烤等。
有降温功能真空烘箱，快速降温真空烤箱控制系统：

具备参数设定、工艺程序编写功能，工艺过程可保存并输出；

工艺结束提示音；

触摸屏

PLC控制器

运行程式可保存不少于5个工艺菜单。

材质

（1）内部为304或316材质；

（2）外部材质：优质冷轧板喷塑；

（3）硅橡胶密封；

（4）内部采用圆角结构。

（5）冷却水管材质：金属水管和其他。 

内部尺寸：长×宽×高=600mm×500mm×500mm

腔门：带有观察窗。

搁架：配有不锈钢的托盘；

真空控制系统

（1）配备数字真空控制器，显示腔内相对压强；

（2）配备干泵、真空检测和显示系统，真空压力可控；

（3）真空泵：油泵或干泵

温度控制系统

（1）可编程多段升温程序；

（2）具备温度校准功能。

安全保护系统

（1）接地保护装置；

（2）超温报警及保护装置；

（3）加热器短路保护装置；

（4）压力低压报警；

配有三色指示灯及蜂鸣器提示机台运行状态。

有降温功能真空烘箱，快速降温真空烤箱技术指标：

真空

（1）工艺真空度：≤133pa；

（3）通过真空电磁阀可实现真空度的控制。

温度

（1）温度范围：室温至300℃；

（2）温度调节精度：≤±0.5℃；

（3）温度稳定度：≤1℃；

（4）温度波动度：≤1℃；

（5）降温至室温时间：＜60min；

（6）升温至200℃时间：＜30min；

（7）可编程进行多段升温。

洁净度

可达class100(使用环境100级）