现以SF₆除因其比重大(约为空气的5倍)，可以在下部空间积聚引起缺氧窒息外，其纯气是无毒无公害的。但是在其生产过程中或者在高能因子例如高温、高能粒子的作用下，则会分解产生若干有毒有害、甚至剧毒、强腐蚀性物质，而且体系中的某些共存物质例如、水分、空气(氧)、电极材料、设备材料等，均会导致上述过程的复杂化，致使分解产物的数量和种类明显增加，其危害自然也显著增大。

SF₆气体杂质的危害主要表现在某些酸性物质特别是HF、SO₂等引起设备材质的腐蚀；某些杂质特别是在水分的存在，在一定条件下可能导致电器性能劣化，甚至造成严重设备事故，例如美国VEP公司500KV系统中SF₆中存在的诸如SF₄、SOF₂、SF₂、SO₂F₂、HF等均为毒性和腐蚀性的化合物，对人体危害极大，S₂F₁₀则属剧毒物质，其空气中***高容许浓度为0.025ppm。我国也曾发生过因上述物质引起的恶性人身事故。此外，还应指出，我国科学工作者近年来发现在SF6气体产品中经常含有S₂F₁₀O，有时其含量甚至达数百ppm，尽管目前对其有毒有害性尚未能确认，但值得引起注意。

SF₆气体微水测试仪

有鉴于此，对SF₆气体施行严格的质量监测与安全管理是***设备***运行和人身健康安全的重要***。为此国际电工委员会(IEC)与1971年和1974年颁布了SF₆气体质量标准和对新SF₆新气和经电弧作用后的标准分析方法；我国于1982年5月公布了《六氟化硫气体技术条件》，此外国外许多SF6气体重要生产厂家均制定了各自的质量标准，以此作为市场竞争的重要依托。

为了监督检验SF6中的杂?**榉趾秃浚?**建立起准确***的分析检测方法和技术，此乃是实现SF₆气体质量控制的技术基础的前提。在该领域国外自七十年代以来有若干文献发表。我国已发表综术文章。北京市劳动保护科学研究所自1978年以来进行了SF₆气体质量分析检测技术的综合研究和开发工作，并编辑了该领域的重要文献资料。

SF₆气体使用安全***的另一重要环节是建立、健全系统的气体质量管理体制。它包括各类条例、标准、规程的制定实施，各级质量检验机构的建立，各级负责人和实验操作人员的技术培训等内容。只要能紧紧抓住技术和管理这两个基本环节，SF₆气体的安全使用和电气设备的安全运行是可以得到******的。