由于SF₆气体是由易于生成有毒有害物质的硫和氮这两个元素姆成的，而且在SF₆分子中氟 原子多达六个。再加上曾发生过与SF₆使用有关的中毒事故，因此在不熟悉者当中存在一种 当然的疑问，担心甚至误认为SF₆本身就是个有毒有害物质。为此国内外均做过大量的生物 染毒试验，井采用了十分苛刻的条件，即把SF₆取代空气中的氮气，79%的SF₆和21%的氧气混合后，通入动物染毒缸。用五只白鼠在其中暴露24小时，然后再在新鲜空气中放置观 察72小时，结果动物均末出现中毒症状。能通过上述实验的物质，卫生学上称无毒物质，药 理学上称非活性气体。

此外SF₆可在医学上作人工气胸时使用，这也可作为它无毒无害的一个佐证。 国际上将有毒物质分剧毒、高毒、中等毒性，低毒、基本无毒、实际无毒六级，并规定有相应确认标准。

HDWG-II 高精度便携式SF₆定量检漏仪

如上所述，目前SF₆气体无毒无害，可安全使用。仅仅提出，由于SF₆气体比空气重五倍而且容易液化，因此有可能造成SF₆在低凹处滞留而引起局部缺氧或在密闭容器中充代过量的问题，需对SF₆气体进行效验检漏，对此应予以注意。

美国1977年规定工作现场空气中SF₆允许浓度为1000ppm。