环保型硅片烘干设备技术特点：实现物料的无污染和均匀干燥，同时可大幅降低干燥温度；干燥速度通常提高数倍以上，生产效率大幅提高；干燥能耗通常降低50%以上；实现安全洁净生产。

设备采用隧道式结构，流水线式生产，全程自动化，操作简单，可灵活控制，可节省人工，并对人工技术要求低，是现代化企业选购设备的。硅片微波烘干设备概念 硅片烘干设备主要用于硅片与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。

硅片烘干设备工艺系统特点，本系列硅片烘干设备主要用于硅片与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。 本系列烘干设备采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显 示出工作温度，直观易读。

本系列烘干设备采用连续式流水线传输带烘干方式，烘干速度快，在3分钟内烘干温度可以提高到135℃-150℃，物料烘干温度可在80℃至250℃之间任意选择；能自动切断电源，提高效率，节能，保护设备和产品。该设备具有物料与金属不接触，改善传统烘干环境，提高产品质量。

硅片烘干设备优势，硅片隧道式干燥设备箱体结构: 设计，箱体采用数控机床加工成型，操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板，外壳为全不锈钢设计制造，更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。

硅片烘干设备控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表； 采用美国大红外测温技术，温度准确度±2℃。硅片烘设备保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。设备自动化程度高，节省劳动力，提高生产效率，是生产的好帮手。

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