直线导轨的精度可分为行走平行度、高度的成对相互差及宽度的成对相互差。

行走平行度是指将导轨用螺栓固定在基准面上，使滑块在导轨全长上运行时，滑块与导轨基准面之间的平行度误差。

高度的成对相互差是指组合在同平面上的各个滑块的高度尺寸的值与最小值之差。宽度的成对相互差是指装在单支导轨上的每个滑块与导轨基准面之间的宽度尺寸的值与最小值之差。不同的设备可选用不同精度的导轨。

1)导向精度导向精度是指运动构件沿导轨承导面运动时其运动轨迹的准确程度。影响导向精度的主要因素有导轨承导面的几何精度、导轨的结构类型、导轨副的接触精度、表面粗糙度、导轨和支承件的刚度、导轨副的油膜厚度及油膜刚度，以及导轨和支承件的热变形等。直线运动导轨的几何精度一般包括：垂直平面和水平平面内的直线度；两条导轨面间的平行度。导轨几何精度可以用导轨全长上的误差或单位长度上的误差表示。 

(2)精度保持性精度保持性是指导轨工作过程中保持原有几何精度的能力。导轨的精度保持性主要取决于导轨的耐磨性及其尺寸稳定性。耐磨性与导轨副的材料匹配、受力、加工精度、润滑方式和防护装置的性能等因素有关，另外，导轨及其支承件内的残余应力也会影响导轨的精度保持性。 

(3)运动灵敏度和定位精度运动灵敏度是指运动构件能实现的最小行程；定位精度是指运动构件能按要求停止在位置的能力。运动灵敏度和定位精度与导轨类型、摩擦特性、运动速度、传动刚度、运动构件质量等因素有关。