质谱技术用来检测和分离同位素，经过长期不断完善，现已成为一种具有优势的分析技术。由于其具有高精度及高灵敏度的优点，作为检测和分析的主要手段已被广泛应用于多种领域。残余气体检测质谱仪分别以空气、空气/氩气混合气体为样品，研究了质谱仪的进样输运效应。利用空气/氩气混合气体作为标准样品，进行了质谱峰强对浓度的标定，获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系。研究发现：由于输运过程，注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同，样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同。
在低温等离子体化学反应过程中会生成多种中间和最终产物，残余气体检测质谱仪是识别和分析这些复杂物质成分的有效工具。分析新生物种及其反应机理，不仅需要定性识别，更需要定量分析，因此探索利用质谱仪实现等离子体化学反应体系成分的定量诊断技术具有广阔的应用前景。质谱分析仪配置有复杂的腔体结构、超高真空机组以及样品注入和输运通道，因此气体样品需经历缓慢的输运过程，才能在分析仪腔体内稳定分布。从气体样品注入到稳定分布的历程中，不同时刻的质谱分布不断演变，此即进样输运过程。在输运过程的不同阶段，掌握质谱峰相对强度的演变规律是实现气体成分定量分析的关键。
残余气体检测质谱仪结构紧凑，坚固耐用，采用适用工业现场和野外使用的坚固的仪器外壳，整体重量小。优异的灵敏度和测量精度，使其特别适用于特定无机化合物和有机化合物(VOC)的动态在线检测，使得现场检测具备了实验室分析的水平。配备NIST标准谱库后，能够对未知样品进行定性识别和定量分析。一台仪器匹配不同的采样装置，即可满足大部分日常测试应用的需求。功能强大的分析软件可以快速收集数据，在精确快速定量显示实时浓度变化趋势的同时，还能够显示完整质谱图，实现定性分析。
