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聚焦智能控制、测量与信号处理 IEEE-ICMSP 2022在杭州开幕
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2023年06月06日 12:01:48 来源:威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:14
手套箱的泄漏率是手套箱最重要的一个指标,指的是在设定的压力下,通常在负压下,单位时间 内空气泄漏入手套箱的速度,通常以每小时泄漏多少个箱体体积,即vol/h来描述。例如,将箱压为-10mbar下,在4小时内1升空气泄漏入一个单工位 手套箱(箱体体积为750升),其泄漏率=1升/750升/4小时=1/3000=0.03%/小时。
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