(SF6检漏仪)卤素检漏仪是指用含有卤素(氟(fluorine)、氯、溴、碘)气体(gases)作为示漏气体的检漏仪器（appliance）。
   SF6检漏仪又称为卤素检漏仪、卤素定性检漏仪，卤素检漏仪，卤素定性检漏仪，SF6气体检漏仪等。露点仪是能直接测出露点温度的仪器。使一个镜面处在样品湿空气中降温，直到镜面上隐现露滴（或冰晶）的瞬间，测出镜面平均温度，即为露点（霜）温度。它测湿精度高，但需光洁度很高的镜面，精度很高的温控系统，以及灵敏度很高的露滴（冰晶）的光学探测系统。使用时必须使吸入样本空气的管道保持清洁，否则管道内的杂质将吸收或放出水分造成测量误差。该类仪器分两类：其一为传感器(transducer)(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。
   卤素检漏仪示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯甲烷(carbon tetrachloride)等，其中氟里昂属。卤素检漏仪灵敏度(Sensitivity)可达3.2×lO-9Pam3／s。

卤素检漏仪检测原理（Maxim）
      传感器是个晶体二极管，加热（heating ）丝、阴极(cathode )(外筒)、阳极(anode)(内筒)均用铂材制成。阳极被加热丝加热后发射正离子(ion)，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来，且有音响指示。电气部分由加热电源(power supply)、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸气装置(device)电源等组成。金属铂在800～900oC温度（temperature)下会发生正离子发射，当遇到卤素气体(gases)时，这种发射会急剧增加。这就是所谓的 ;卤素效应 ；利用此效应制成了卤素检漏仪。
卤素检漏仪使用(use)方法(method)
    灵敏度(Sensitivity)、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能(xìng néng)参数(parameter)。露点仪是能直接测出露点温度的仪器。使一个镜面处在样品湿空气中降温，直到镜面上隐现露滴（或冰晶）的瞬间，测出镜面平均温度，即为露点（霜）温度。它测湿精度高，但需光洁度很高的镜面，精度很高的温控系统，以及灵敏度很高的露滴（冰晶）的光学探测系统。使用时必须使吸入样本空气的管道保持清洁，否则管道内的杂质将吸收或放出水分造成测量误差。其使用(use)方法(method)与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。但是，卤素检漏仪（SF6检漏仪）的指示与卤素气体的浓度(concentration)有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器（appliance）出现饱和或中毒现象。所以在进行性能测试或检漏时，进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1～10oPa压力范围(fàn wéi)内工作(job)，压力过高或过低都会导致仪器灵敏度的下降。便携式卤素检漏仪（SF6检漏仪）的传感器基本上是在大气（dàqì）压下工作的，靠吸气装置(device)吸入气体，使卤素气体流经传感器。