等离子清洗机的功能及特征

等离子清洗机是一种利用等离子达到传统清洗方法无法达到的效果的高科技新技术。等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四态。对气体施加足够的能量以将其电离并将其变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发态核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洗等目的。

等离子清洗机中的等离子清洗装置将两个电极置于密封容器内形成电场，利用真空泵达到一定的真空度。随着气体越来越稀薄，分子距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在正负电场的作用下，它们碰撞形成等离子体。这些离子具有足够高的活性和能量，可以破坏几乎所有的化学键并在任何暴露的表面上引起化学反应。不同的气体等离子体具有不同的化学性质。例如，氧等离子体具有很高的氧化性能，可以氧化光刻胶产生气体，从而达到清洁的效果。腐蚀性气体等离子体具有良好的各向异性，能满足蚀刻的需要。等离子处理时会发出辉光，故称为辉光放电处理。

等离子清洗机主要依靠等离子中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。就反应机理而言，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发成等离子体状态；气相物质吸附在固体表面；吸附的基团与固体表面分子反应生成产物分子；分析产物分子以形成气相；反应残留物与表面分离。等离子清洗机的特点是它可以处理金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂甚至聚四氟乙烯，无论被处理的是什么类型的基材。它还可以清洁整体、局部和复杂的结构。

等离子清洗机的等离子清洗可以独立于处理对象进行。它可以处理多种材料，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物）都可以进行等离子处理。因此，它特别适用于不耐热和不耐溶剂的材料。你也可以选择局部清洁材料的全部、部分或复杂结构。当清洁和去污完成后，可以改善材料本身的表面性能。例如，提高表面润湿性和提高薄膜附着力在许多应用中都非常重要。