2023年01月04日 08:45:51 来源:上海双旭电子有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:10
扫描与透射电子显微镜的效果有什么不同?
1、1932年,鲁斯卡发明了以电子束为光源的透射电子显微镜(TEM)。电子束的波长远短于可见光和紫外光,电子束的波长与发射电子束电压的平方根成反比。也就是说,电压越高,波长越短。目前TEM的分辨率可达0.2nm。它与成像原理基本相同,区别在于前者以电子束为光源,以电磁场为透镜。此外,由于电子束的穿透力很弱,因此用于电镜的标本必须制成厚度约50nm的超薄切片。这种切片需要用(超薄切片机)制作。电子显微镜的放大倍数可达近百万倍,由电子照明系统、电磁透镜成像系统、记录系统、电源系统五部分组成。 2.(扫描电子显微镜,SEM)于1960年代问世,用于观察试样的表面结构。其工作原理是用极细的电子束扫描样品,激发样品表面的二次电子。二次电子的数量与电子束的入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关。探测器被那里的闪烁体收集并转换成光信号,再通过和放大器转换成电信号,以控制荧光屏上电子束的强度,并显示与电子束同步的扫描图像。图像为三维图像,反映了试样的表面结构。为了使试样表面发射二次电子,在试样固定脱水后,喷洒一层重金属颗粒,重金属在电子束的轰击下发射二次电子信号。目前分辨率为6-10nm,人眼可以分辨荧光屏上相距0.2mm的两个光点,因此*大有效放大倍数为0.2mm/10nm=20000X。