电容式差压传感器
2022年12月23日 13:35:39
来源：深圳市新世联科技有限公司 >> 进入该公司展台
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文摘：
图4-14是电容式差压传感器结构示意图。这种传感器结构简单、灵敏度
高、响应速度快（约100ms)、能测微小压差（0〜0.75 Pa)。它是由两个
玻璃圆盘和一个金厲（不锈钢)膜片组成。两玻璃圆盘上的凹面深约25
mm，其上镀金属以作为电容式 传感器的两个固定极板，而夹在两凹圆
盘中的膜片则为传感器的可动电极，则形成传感器的两个差动电容C1、
C2。当两边压力p1、p2相等时。膜片处在中间位置与左、右固定电容间距
相等，因此两个电容相等……
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