SLZF270B小型蒸发设备

该设备是一台单腔室热蒸发设备，可溅射多种材料，真空腔室选用优质304不锈钢加工 圆柱型 尺寸275mm*300mm，上揭盖结构；顶部安装有4英寸样品架；底部装有2个电阻蒸发源；前面配有观察窗；真空获得系统安装于真空室下面 包括110分子泵，2L机械泵，压差阀，波纹管软连接，电控系统一套包括相序保护，真空控制系统；真空检测系统 真空计；
设备采用 进口检漏仪检漏 漏率超过5*10-10Pa/l/s；
极限真空可达10*10-5Pa；

1，尺寸 275mm*300mm

2，极限真空 10*10-5Pa

3，漏率 5*10-10Pa/l/s

4，抽速 30分钟 8*10-4Pa

5，蒸发源 2个