技术指标：
· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×350
1000×120×300mm矩形
· 极限真空：×10-5Pa
磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容
水冷，可根据需要选型
可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能。样品加热温度可达600°C.
其他选择增加功能：膜厚测试、反应溅射、离子束增强磁控溅射。
沈阳思联真空设备有限公司
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技术指标：· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×3501000×120×300mm矩形· 极限真空：6.6×10-5Pa磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容水冷，可根据需要选型可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能
· 真空室：内径500×300 内径600×350 内径800×350
1000×120×300mm矩形
· 极限真空：×10-5Pa
磁控靶：2英寸3只；DC与RF兼容
水冷，可根据需要选型
可选择冷却、加热、反溅射清洗、公转、自转等功能。样品加热温度可达600°C.
其他选择增加功能：膜厚测试、反应溅射、离子束增强磁控溅射。
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