低温等离子废气处理设备技术是近年发展起来的废气处理新技术。等离子体被称为物质的第四种形态，利用介质放电所产生的等离子体以每秒300万次至5000万次的速度反复轰击异味气体分子，激活、电离、裂解废气中的各种成分，使复杂的大分子污染物转变为一些小分子的安全物质（如CO2和H2O），达到净化的目的。 

    等离子技术产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对各种工业有机废气及国家《恶臭污染排放标准》中规定的八大恶臭物质均能有效去除。相比其它废气处理方法，等离子体技术具备能耗低、使用便利、无二次污染等特点，是目前废气污染治理中富有前景、行之有效的技术方法。    

等离子体与固体、液体、气体一样，是物质的一种聚集状态，是继固、液、气三态后被列为物质的“第四态"。由正离子、负离子、电子和中性粒子组成。在这个体系中因其总的正、负电荷数相等，故称为等离子体。气体（惰性气体除外）在一定电压和频率电场作用下均可被电离或击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的等离子体。    

常规意义上的等离子体态是中性气体中产生了相当数量的电离，当气体温度升高到其粒子的热运动动能与气体的电离能可以比拟时，粒子之间通过碰撞就可以产生大量的电离过程。并非只有电离的气体才是等离子体，但需要有足够高电离度的电离气体才具有等离子体性质。当体系中“电性"比“中性"更重要时，这一体系可称为等离子体。 

    等离子技术产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对各种工业有机废气及国家《恶臭污染排放标准》中规定的八大恶臭物质均能有效去除。 

    当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生大量电子、离子、原子和自由基在内的混合粒子。这些高能活性粒子和废气中的污染物作用，使废气分子在极短的时间内发生分解，以达到净化废气的目的。电场的设计使废气分子的运动速度较低，零点几秒内便能使其负载足够的电荷。带电粒子在电场中会受到电场力（库仑力）的作用，使废气分子被吸附至阳极，因此净化率非常高。粒子电离后产生的电子平均能量约为1eV~10eV，因此控制反应条件可以使反应变得十分快速。  
    相比其它废气处理方法，等离子体技术具备能耗低、使用便利、无二次污染等特点，是目前废气污染治理中富有前景、行之有效的技术方法。传统治理VOC及异味气体的方法（如吸收法、热氧化法、膜分离法、生物反应法和光催化法等）由于对于低浓度气体治理效率不高，各国利用不同的冷等离子体发生装置治理废气，通过比较不同放电形式的等离子体对废气的去除效率，发现介质阻挡放电等离子体的去除率较高，这也成为近几年研究的重点。大流量低温等离子废气治理装置为真正意义上的等离子体废气治理技术。所要治理的废气通过等离子体区，使之离子化，形成电离状态，在高能电子和粒子的轰击下，加之等离子体态中丰富的氧化活性基团，在较短的时间类分解反应成为二氧化碳、水或是小分子化合物。而非单纯的依靠臭氧来氧化反应。这种等离子体治理废气的技术正是国内、环保部等鼓励发展的*技术，在国内处于应用推广阶段，其技术在国内处于*水平。