一、 适用区域

本烘箱适合于洁净车间内使用，适用于高精密半导体中烘干，胶水固化，精密光学元件清洗后烘干等热处理。

二、 设备特点

1. SUS304 1.5mm不锈钢板，全满焊工艺；

2. 箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式，可以使箱内保证微正压，以保证污染物不能进入内箱；

3. 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室，可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可以满足洁净级别ISO Class 5（国标100级），ISO Class 6（国标1000级），ISO Class 7（国标10000级）等各种等级的需求；

4. 配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；

5. 全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温。可以保存配方，查看温度曲线，导出升温数据等；

6. 根据使用要求，可以接受定制。

三、 规格明细表