在线寿命和电阻率扫描仪

MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM单元，用于集成到各种自动化检测上。关键测量是少子寿命扫描。样品通常由测量探头下面的传送带或机器人系统传送。应用实例范围从砖块到晶片检查，测量速度小于每晶片一秒。电池生产线的进料质量调查是常见的应用案例，以及在钝化和扩散之后的工艺质量检查，在许多其他的专业应用领域也有很大的可能性。只需要集成以太网连接和电源就可以了。包括附加电阻率测量选项。

优势

• 在µ-PCD或稳态激发条件下测量少子寿命和电阻率线扫描是该仪器设计的重点。
  

• 集成OEM单元的生产，用于多晶或单晶硅晶片在不同工艺阶段直至器件、砖块或锭子的生产线的整合。
  

• 小尺寸和标准自动化接口易于集成。重点在于测量结果的长期可靠性和精密度。