- BDISCOM 10kW 中频发生器(2 个电极)- ProfiBus -3 Tap- 版本 2 带前面板显示屏; - 19" 机架版本,带 3 个变压器级 (400V / 650V / 800V) - 输出功率:10 kW - 频率:40 kHz; - 集成脉冲发生器:开/关时间:1 - 40 ms - 风冷 - 接口:A / D - 尺寸:19"x 4 U - 电源电压:3x 360 V - 480 VAC; 50/60 Hz - 匝数比为 1:6.5 的外部高压变压器。 用于连接 4 个电极的分线盒 2 根 2 m 集成去耦电容器的硬接线连接电缆 - 从发电机到高压变压器盒的 10 m 可插拔电源线 重量:43,000 公斤 关税编号: 99 原产国:ITA
- BDS-MF10KW2E-V2北斗发生器意大利BDiscom进口
BDS-MF10KW2E-V2北斗发生器意大利BDiscom进口
BDS-ARC发生器
的高性能发生器,适用于高效率 (> 90 %) 的大电流 CAE 过程
BDS-ARC 150 /250 电弧沉积发生器
简介: BDS-ARC150/250 是一款输出高达 150 或 250 A 的直流发电机,专为 CAE 源设计。该系统采用紧凑轻便的 19 英寸外壳。
BDS-ARC150/250 的设计考虑了典型的系统集成商需求。
一些亮点:
该单元仅 178 毫米高。单个机柜中最多可安装 6 个单元,从而节省空间和安装成本。
在典型的应用中,使用 220A/20V 的矩形 CAE 源,总功耗仅为 400W。
灵活的接口。提供 Profibus(选项)、RS232 和模拟用户端口。
冷却系统采用高效超大散热器和风扇变速控制。该装置可以在 40°C 的全功率温度下不间断地运行。
可应要求提供集成在装置中的非接触式点火模块。
在 1-50 Hz 频率范围内提供电流输出调制选项(双电流设定点)
BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz,高|低电压交流等离子体发生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等离子体发生器,功率为 5、10 或 15 kW,专为 PECVD 或等离子体清洁应用中的等离子体激发而设计。该装置能够在 7000V RMS 输出下提供高达 10kW 的功率。
输出为平衡型,可驱动2个对称电极。典型应用是大型工艺室的 PE-CVD 工艺。一个的功能是内置 2 个(标准)或 3 个(根据要求)变压器抽头的高压匹配变压器可用作阻抗匹配。
用户只需将两根同轴电缆连接到电极上。与用户 PLC 的接口可以是模拟或数字 RS232 或 Profibus(根据要求)。亮点和好处:内置输出匹配变压器,无需外接盒。风冷机组。没有与潮湿或漏水相关的风险。全功率,环境温度高达 40C°。模拟接口。可根据要求提供 Profibus 接口。前面板显示屏使安装和故障排除更容易。高效率>90%。结构紧凑轻便,仅重 20kg,4UI。BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列新一代价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射频发生
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列 BDISCOM 推出了新一代中低功率射频发生器,旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。 型号 BDS.HF 200-300-750
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
新一代价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射频发生器
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率射频发生器,旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。
型号 BDS.HF 200-300-750.BB,黑盒式,仅带有模拟 0-10 VDC 端口。
中低功率黑匣子系列由一台 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 输出功率的单元组成,采用黑匣子配置,仅带有模拟用户端口,0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由与发电机一起提供的外部电源提供。
BDS HF Black Box (BB) 发生器的常见规格: BDS HF 系列是 E 级电路,典型效率为 85-90%。
输出功率通过作用于直流母线的 PWM 电路进行调制
CE 标志 - 意大利制造
BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列
新一代价格竞争力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 有源面板射频发生器
BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率 HF 发生器,旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。
型号 BDS.HF 200-300-750.AFP 200、300、400 和 750 W,有源前面板,直接调谐器接口。
中低功率 AFP(有源前面板)200、300 或 750 瓦系列是一种 1⁄2 机架安装式发电机,具有直接调谐器控制和带有 LCD 触摸屏显示的 AFP 可选择功能和一个旋钮编码器用于微调参数。可根据要求提供友好的用户界面软件和 RS 232-Profibus 接口。该装置还可以配置为驱动 2 个自动匹配网络作为选项。
有源前面板 (AFP) 发生器的常见规格:BDS HF 系列是 E 级电路,典型效率为 85-90%。
输出功率通过作用在直流总线上的 PWM 电路进行调制。
BDS AMN 750 射频自动匹配网络
BDS AMN 750 射频自动匹配网络
BDS AMN 750自动匹配单元
BDISCOM 正在推出以 13.56 MHz 标准 ISM 频率运行的新一代自动匹配网络单元,用于工业和实验室用途。典型应用包括溅射工艺、PECVD 沉积、等离子体激活、电介质加热、激光激发等。
BDS-AMN 750 型:基于额定电压为 3000 V 的可变空气帽的自动匹配 | 高达 20 A。模拟用户端口引脚与 BDS.HF 200、300 和750 瓦发生器兼容。
BDS-AMN 750 是一种阻抗匹配网络,用于 HF (13.56 MHz) 等离子体应用,将负载的复阻抗转换为 50 欧姆电阻。调谐电路为L型,采用优质可变电容和精密定位电机。典型的调谐类型小于 2 秒。此外,还提供适用于中等阻抗负载的 TEE 配置。
可以进行范围广泛的完整预设或仅一个通道的预设。也可以*独立操作,只需要一个外部开关即可调用点火位置。DC BIAS 测量电路允许监控 DC BIAS,比例为 100。
与所有 Bdiscom 射频发生器直接连接。一个可用的单个匹配(真空继电器)上的 3 通道 RF 输出作为选项。
BDS-AMN 750 自动匹配规格见附件 PDF:
CE 标志 - 意大利制造
BDS SP 500 直流溅射电源
BDS SP 500 直流溅射电源
用于直流溅射工艺的 Bdiscom 电源。500 瓦 FS
具有快速电弧检测 (< 200 nSec) 和数字接口的价格竞争力的直流电源。适用于中小型研发和工业溅射工具。
用于溅射工艺的 Bdiscom 直流电源。
高效率、高可靠性和市场上吸引力的价格。
一些亮点:
500 瓦 FS(1000 伏输出),配备用户友好的有源触摸屏显示器 (AFP)。
电源要求:230V - 1PH±10%
重量:约5公斤
尺寸:132.5 x 241 x 400(毫米)
调节方式:功率、电压、电流
功率输出:500 瓦特FS
输出电压: 1000 伏直流电
输出电流:1 安培
电弧处理检测 lt; 200 纳秒
接口:A/D,包括 RS 232(Profibus 选项)
冷却:强制空气
工作温度:5-40℃
率 > 90 %
显示:触摸屏240x128像素
根据 EN 55011 的 EMC 分类:
这是一种 ISM(工业科学医疗)设备,符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。
CE 标志 - 意大利制造
BDS SP 3、6 和 12 溅射电源
BDS SP 3、6 和 12 溅射电源
用于直流溅射工艺的新型 Bdiscom 电源系列。三个范围可供选择:
* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 输出
* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 输出
* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 输出
电弧检测 (< 200 nSec) 和数字接口。适用于中端研发和工业直流溅射工具
用于溅射沉积的新型 Bdiscom 直流电源。
一些亮点:
* 所有装置均配备用户友好的主动式触摸屏显示器
* 点火电压高达 1,1 kVolt
* 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec
* 冷却空气
电源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
功率输出:3、6 和 12kw FS
电压输出:1000 Volt FS
电流输出:6、12 和 25 安培
点火:1,1 KVolt
电弧检测器 lt; 200 纳秒检测,< 1 毫秒 DV/DT 关闭时间
效率 gt; 90 %
显示:触摸屏240x128像素
调节模式:功率/电压/电流(可选)
冷却:空气(强制)
接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 选项)
工作温度:5-40℃
尺寸:19"机架 - 4HU
根据 EN 55011 的 EMC 分类:
这是 ISM(工业科学医疗)设备,符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。
CE 标志 - 意大利制造
BDS GLOW 3000/6000 发电机
用于辉光放电过程的带有 AFP(触摸屏有源前面板)的新型高压直流发生器
新型 BDISCOM 高效 (90%) 高压直流电源,可用于任何研发或工业真空等离子系统。
新的 BDS Glow 用于获得非常稳定和可靠的 HV DC 等离子体,以便在涂层工艺之前清洁或蚀刻基板。
与大多数新的 BDISCOM PSU 系列一样,它配备了用户友好的触摸屏有源显示器和一个编码器,以限度地提高参数设置、分辨率和微调。
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。