这款大面积紫外曝光固化机是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光机和LED紫外固化机，是一种冷光源LED紫外固化装置，它提供标准的365nm紫外线，广泛用于光刻胶紫外曝光固化,合晶圆键合 wafer bonding,临时键合temproary bonding,切割蓝膜,切割胶带,切割蓝膜DICINGTAPE的固化应用。

　　大面积紫外曝光固化机是*单色紫外发射，具有35mW/cm^2的功率密度，在9英寸的面积上光源均匀度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光机。

　　这套大面积紫外曝光固化机采用了的LED光源技术，*实现单波长紫外冷光源照明，有效消除热效应，非常适合实验室或超净间的紫外曝光使用。

　　大面积紫外曝光固化机结构紧凑，方便移动，采用触摸屏控制操作，*有效安全控制紫外曝光室。

　　大面积紫外曝光固化机的LED紫外光源寿命高达1万小时，非常可靠而耐用，不需要日常维护，非常方便使用。

　　大面积紫外曝光固化机特点

　　兼容4寸，6寸，8寸晶圆

　　兼容9寸’’(8''晶圆）和7寸（6‘‘晶圆）框架

　　非常紧凑，桌上使用设计

　　完紫外单色LED冷光源，更高固化效率

　　工作面积为9英寸晶圆

　　适合所有光刻胶

　　无需预热，直接开机使用

　　实时温度控制功能确保均匀曝光

　　紫外照明功率强度可调

　　可单次曝光或连续曝光

　　适合光学，生物科技，微电子，晶圆键合，固化，细胞培养等多种应用

　　大面积紫外曝光固化机参数

　　波长：365nm +/-5nm

　　功率密度：145mW/cm^2

　　曝光过程中衬底温度上升 lt;2摄氏度

　　曝光时间：1秒到1小时

　　可编程控制循环：10个

　　外部尺寸：350x 350x350mm

　　重量：22kg

　　彩色触摸屏：5.7英寸

　　供电要求：230V

　　用电功耗：800W

　　切割蓝膜曝光时间：ADWILL D650：15秒, ADWILL D175 P370:45秒