XUV/VUV极紫外光谱仪是一款掠入射XUV-VUV光谱仪器和极紫外光栅光谱仪器,非常适合表征测量短脉冲激光发射。

　　XUV/VUV极紫外光谱仪由掠入射振幅光栅和高灵敏度CCD组成,适合探测6eV到210eV能量范围。光学强度和光谱校准后，可测量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）发射的紫外光子数以及等离子体表面或气体介质中的高次谐波产生。

　　XUV/VUV极紫外光谱仪特点

　　振幅光栅 光谱仪

　　适合6nm~200nm宽光谱范围内的测量

　　适合探测6eV到210eV能量范围

　　-掠入射振幅光栅，为一级光衍射提供极宽的光谱范围

　　-高量子效率CCD

　　-紧凑型设计

　　XUV/VUV极紫外光谱仪分光计设计原则：

　　?与独立透射光栅相比，掠入射振幅光栅具有更高的可靠性和鲁棒性，同时为软X射线的整个光谱范围提供了更高的灵敏度

　　?使用平振幅反射光栅可以避免所有偶数级衍射，并对高奇数级进行深度抑制，从而实现高信号和低噪声测量

　　?该方案中没有聚焦元件，使得在所有光谱范围内都能可靠地工作，因此设计非常紧凑

　　?CCD探测器具有稳定的量子响应，可以方便地进行定量测量

　　与透射光栅光谱仪相比，XUV/VUV极紫外光谱仪在6nm以下的整个光谱范围内保持高灵敏度：

　　XUV/VUV极紫外光谱仪规格

　　光谱范围：6-200nm

　　分辨率：λ/Δλ=50

　　掠射角：6度

　　缝宽：80um（默认），可根据要求更改

　　格栅：TGZ-2，工作区3x3mm

　　可用探测器：

　　1、东芝1304AP CCD线，3600个元素，像素周期8um，敏感部分6um，无机荧光粉

　　2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期

　　3、ANDO440-BN相机，2048x512，13.5微米周期

　　或客户要求的其他CCD探测器。