EUV等离子体光谱仪是为光谱范围高达40nm的EUV等离子体特性测量而开发的VUV光谱仪,非常适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪。
EUV等离子体光谱仪特点
-单色仪和光谱仪模式
-恒定偏转角
-光栅精密旋转的波长扫描
千分尺驱动进出口狭缝组件；
EUV等离子体光谱仪规格
入射角：φ=85°
衍射角：φ=81°
恒定偏差角：φ=φ±ψ=166°
光谱范围：4–42.5nm
可更换衍射光栅：1200、600、300 G/mm
光谱仪长度：250mm
20μm入口狭缝的光谱范围、色散和光谱分辨率（默认）：
光栅，G/mm 光谱范围，nm 色散，nm/mm 分辨率，nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
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