这款极紫外EUV相机是为EUV深紫外成像而设计的EUV相机探测器和EUV深紫外相机,它与EUV成像软件一起组成深紫外EUV成像系统..
极紫外EUV相机特点
在线EUV光束成像
各种空间分辨率
直接光束曝光保护
可定义GOI感兴趣区域
可调抗异常电路
极紫外EUV相机参数CRYCAM-X1-4.2
视场FOV: 直径2mm
空间分辨率:4.2um
工作温度:0-40摄氏度
图像传感器:1/2'' COMS单色图像传感器
成像分辨率:1288x1032像素
像素大小:5.2x5.2um
图像传感器尺寸:6.7x5.4mm
帧频:30fps
最小曝光时间:38us
动态范围:8bit 或 10bit
像素时钟:5~48MHZ
控制接口:MPE-GARRY MICRO-T
计算机接口:USB2.0
软件:EUV成像软件
闪烁体成像屏: LuAG:Ce 和或YAG:Ce荧光屏
可探测电子能量:高达40Kev
尺寸:250x45x90mm (LxWxH)
重量:1.4kg
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