分 析 站 | 2个分析站,1个P0站,2个处理站; |
独 立P0 | Langmuir比表面分析仪具有独立的饱和蒸汽压(P0)测试站,保证分压测试的高准确性; |
气路系统 | 贝士德的BEST多路歧管系统,对控制阀门进行整体集成设计,无任何螺纹密封及管路压接或焊接接口,将真空管路减少到极限,*消除漏气点,整个系统漏气率低于10-10Pa*m3/s,,密封性提高5倍以上,达到进口水平,极大的提升了仪器的稳定性和精确度;气路系统各部分统筹进行模块化组装,极大减少故障率,大幅增强仪器稳定性。 |
管路通径 | 大通径是高真空的条件,脱气位和测试位采用大通径阀门和管路,使真空泵的极限真空得到效果的体现。 |
真空系统 | 仪器配备两套独立的真空系统,既脱气系统和分析系统相互独立;极限真空达到10-2Pa,避免由一套真空系统而带来的污染问题; |
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