测量显微镜MF/MF-U系列产品技术参数：
| 型号 | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B | |
| 货号 | 176-430*1 | 176-431*1 | 176-432*1 | 176-433*1 | 176-434*1 | |
| 光路 |
| 有限校正光学系统 | 无限校正光学系统 | 无限校正光学系统 | 无限校正光学系统 | 无限校正光学系统 |
| 标准分划板（内置） | 90o点划线十字线(线宽5μm) | |||||
| 可调瞳距 | 西登托夫型调节范围：51-76mm | |||||
| 光路切换比 | 观察/TV显微摄影=50/50 | |||||
| 垂直倾斜度 | 25o | 倾斜 | ||||
| TV端口 | 作为标准配置提供 | |||||
| 观察图像 | 正像 | |||||
| 目镜 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X | ||||
| 物镜（可选） |
| 可选单筒目镜(配有一个目镜) | 配备两个10X目镜 | |||
| ML系列物镜 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | — | ||||
| BF（亮视场） | — | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo | ||||
| BD（亮/暗视场） | — | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL | ||||
| 转塔（可选） | BF（亮视场） | — | (配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*2) | |||
| BD（亮/暗视场） | — | (配有四孔手动传感器/电动五孔传感器*3) | ||||
| 聚焦部分 | 工件高度 | 可达150mm | ||||
| 测量精度 | (1.5+0.01L) μm L：测量长度(mm) | |||||
| 驱动方式 | 使用控制手柄进行电动控制 | |||||
| 照明装置 | 透射照明装置 | 远心光学系统，内置孔径光阑，卤素灯泡(12V，50W)，100级光强度可调，光纤冷光照明 | ||||
| 反射照明装置 | 科勒照明，可变孔径光阑机制，卤素灯泡(12V，100W)，100级光强度可调，光纤冷光照明 | |||||
| 工作台 | 测量范围（XxY） | 250×150mm | ||||
| 测量精度*4（X和Y轴无负载） | (0.9+0.003L) μm L：测量长度(mm) | |||||
| 工作台台面尺寸 | 460×350mm | |||||
| 载物玻璃有效尺寸 | 300×200mm | |||||
| 旋转角度 | ±3o | |||||
| 承重 | 30kg | |||||
| 驱动方式 | 使用手柄进行电动控制 | |||||
| 检测器 | 高精度光栅尺(砖利) | |||||
| 数显 | 分辨力 | 0.01μm | ||||
| 显示轴 | X, Y, Z | |||||
| 数据处理装置 | QM-DATA200或Vision Unit | |||||
| 操作部分 | 手柄急停按钮 | 可用 | ||||
| 精细间距 | 可用 | |||||
| 数据输出 | 可用 | |||||
| 数字显示复位 | 可用 | |||||
| 照明光强度控制 | 可用 | |||||
| LAF（只对焦） | — | — | 可用 | |||
| LAF（跟踪对焦） | — | — | 可用 | |||
| 转塔控制 | — | 可用 (安装电动转塔时) | ||||
| 重量 | 显微镜主机 | 约250kg | 约255kg | |||
| 电源装置 | 14kg | |||||
| 电源 | 100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗：700W | |||||
| 产品特点 |
| ★MF-U 系列的电动型。X、Y 和 Z 轴均为电动控制，工作台可由控制手柄进行操作。 |
| BF（亮视场） | 型号 | MF-UG2017D | MF-UG3017D | MF-UG4020D | MF-UE2017D | MF-UE3017D | MF-UE4020D |
| 货号 | 176-784*1 | 176-785*1 | 176-786*1 | 176-790*1 | 176-791*1 | 176-792*1 | |
| BD（亮/暗视场） | 型号 | MF-UH2017D | MF-UH3017D | MF-UH4020D | MF-UF2017D | MF-UF3017D | MF-UF4020D |
| 货号 | 176-787*1 | 176-788*1 | 176-789*1 | 176-793*1 | 176-794*1 | 176-795*1 | |
| 观察图像 | BF(亮视场)，DF(暗视场) (仅MF-UC和MF-UD型)，偏光，微分干涉对比(DIC)/正像 | ||||||
| 目镜 | 屈光度调节 | 10X(标准选件) (视场数：24)，15X，20X | |||||
| 物镜（可选） | BF(亮视场) | M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有镜头) | |||||
| BD(亮/暗视场) | BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有镜头) | ||||||
| 照明装置（二选一） | LED照明装置 | 透射照明：远心光学系统，内置孔径光阑，白色LED光源，无极亮度调节，冷却风扇 | |||||
| 卤素照明装置 | 透射照明：远心光学系统，内置孔径光阑，卤素灯泡(12V, 50W)，无极亮度调节，冷却风扇 | ||||||
| 影像AF*2 | √ | √ | |||||
| 激光AF*2 | 一 | √ | |||||
| XY轴 | 测量范围 | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
| Z轴 | 测量范围 | 220mm | |||||
| 测量精度*3 | （X和Y轴无负载） | (2.2+0.02L) μm L：测量长度(mm) | |||||
| 数显计数器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1μm 可切换 | |||||
| 型号 | MF-G2017D | MF-G3017D | MF-G4020D | |
| 货号 | 176-781*1 | 176-782*1 | 176-783*1 | |
| 观察图像 | BF(明视场)/正像 | |||
| 目镜 | 屈光度调节 | 10X(视场数24)，15X，20X | ||
| 物镜 |
| ML系列3X物镜(标配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | ||
| 照明装置（二选一） | LED照明装置 | 透射照明：远心光学系统，内置孔径光阑，白色LED光源，无极亮度调节，冷却风扇 | ||
| 卤素照明装置 | 透射照明：远心光学系统，内置孔径光圈，卤素灯泡(12V, 50W)，无极亮度调节，冷却风扇 | |||
| 影像AF*2 | ? | |||
| XY轴 | 测量范围 | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
| Z轴 | 测量范围 | 220mm | ||
| 测量精度*3 | （X和Y轴无负载） | (2.2+0.02L) μm L：测量长度(mm) | ||
| 数显计数器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1μm 可切换 | ||
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