1. 系统
| 货号 | 型号 | 主机规格 | |
| X1 轴测量范围 | Z1轴测量范围 | ||
| 218-633DC | CV-2100M4 | 100 mm | 50 mm |
1-1. 系统图
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| ・分析软件 ・电脑 ・打印机
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| 数据处理部 |
1-2. 数据处理部
| 分析软件 |
| FORMTRACEPAK V5.4(CV) |
2. 主机规格
| 测量范围 | X1 轴 | 100 mm | |
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| Z1轴 | 50 mm | |
| 垂直移动 |
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| 350 mm 快速上下动和微动 |
| X1 轴倾角范围 |
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| ±45° 手动 |
| 类型 | X1 轴 |
| 反射型线性编码器 |
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| Z1轴 |
| 圆弧光栅尺 |
| 分辨力 | X1 轴 |
| 0.1 μm |
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| Z1轴 |
| 0.1 μm |
| 驱动速度 | X1 轴 |
| 0~20 mm/s外加手动 |
| 测量速度 |
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| 0.02~5 mm/s |
| 直线度(以X1轴为水平方向上) |
| 2.5μm/100 mm | |
| 指示精度 | X1 轴 |
| ±(2.5+0.02L)μm L为驱动长度(mm) |
| (20℃) | Z1轴 |
| ±(2.5+|0.1H|)μm H:基于水平位置的测量高度(mm) |
| 测针上/下运作 | 弧形移动 | ||
| 测量方向 |
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| 向前/向后 |
| 测针方向 |
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| 向下 |
| 测力 |
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| 30±10 mN |
| 跟踪角度 | 向上 |
| 77°(依表面粗糙度而定) |
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| 向下 |
| 87°(依表面粗糙度而定) *使用配置的标准测头 |
| 测针针尖 | 半径 |
| 25μm |
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| 材料 |
| 硬质合金 |
| 基座尺寸 |
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| 600×450 mm |
| 基座材料 |
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| 花岗岩 |
| 尺寸 | 主机 |
| 651×143×138.5 mm |
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| 立柱部 | 885×745×450 mm | |
| 重量 | 主机 |
| 5.8 kg |
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| 立柱部 | 140 kg | |
| 使用温度范围 |
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| 0~40 ℃ |
| 使用湿度范围 |
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| 20~80 %RT 但是不能结露 |
| 保存温度范围 |
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| -10~50 ℃ |
| 保存湿度范围 |
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| 5~90 %RT 但是不能结露 |
| 电源 |
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| AC 100~120V、200~240 V±10%、AC50/60 Hz |
| 消耗功率 |
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| 30 W |




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