MX51 工业检测显微镜
产品特点:
• 紧凑的设计实现最小的占地空间
• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计，极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准
MX51详细规格:
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | ||||
| 显微镜镜体 | Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 µm）调焦机构张力可调有调焦上限位机构 | ||||
| 照明系统 | | BX-KMA 明视场照明器 | BX-RLA2 明视场/暗视场照明器 | BX-URA2 照明器 | |
| 观察方式转换 | ---- | 明视场-暗视场滑块转换法 | 分光镜组（最多6个）换镜旋座 | ||
| 可适用观测模式 | ①明视场法 ②诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ③偏振光照明法 | ①明视场法 ②暗视场法 ③诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤红外光 | ①明视场法 ②暗视场法 ③诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤荧光照明法 | ||
| 光源 | 6V30W瓦卤素灯 灯座: U-LS30-4 变压器: TL-4 | 12V100W瓦卤素灯 灯座: U-LH100L-3 电源整合在MX51显微镜中 | 水银灯: U-LH100HGAPO 需配备BH2-RFL-T3外接电源 | ||
| 透射照明 | 明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用） | ||||
| 电源供应部件 | ---- | 额定电压: 100-120/220-240V1.8A/0.8A 50/60Hz 连续式亮度调节盘 | |||
| 观察镜筒 | U-BI30-2 宽场双目镜筒，U-TR30-2 宽场三目镜筒，U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22) U-SWTR 超宽场三目镜筒，MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) | ||||
| 物镜换镜转盘 | U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽) | ||||
| 载物台 | U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台 驱动方法:齿轮/齿条 Y 轴止动器: 手柄调节 | MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台 驱动方法:传动带式行程:158（X轴）×158（Y轴）mm 联动方法: 离合（内置离合开关手柄） 托架尺寸: 200×200mm透过观察范围: 100×100mm) | |||
| 体积与重量 | 体积: 约430（宽）×591（长）×495（高）mm；重量：约26 kg（显微镜镜体约重11 kg） | ||||
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