VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注，莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案：LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自动化在线晶圆机由莱森光学专门针对基于6寸 VCSEL晶圆得LIV光谱测试/NF近场测试/FF远场测试研发而成，特别适合晶圆线上自动化测量。
主要技术特点
● 满足ISO/IEC标准
● 晶圆支持6寸
● 支持脉冲和CW模式
NF近场测试
主要技术指标
项目 |
| 规格 | 单位 |
晶圆参数 | 晶圆尺寸 | ≤6 | inch |
晶圆厚度 | 100~3,000 | μm | |
晶圆曲度 | ≦10 | mm | |
芯片尺寸 | 150~3,000 | μm | |
衬底尺寸 | ≧50 | μm | |
光功率 | 0.1~10,000 | mW | |
波长 | 800~1,100 | nm |
LIV-NF-FF | LS-LIV-1000 | LS-NF-2000 | LS-FF-3000 |
测量能力 | LIV和光谱功率测量 | 近场测试 | 远场测试 |
LIV，Leakage current漏电流，Ith阈值电流，Kink，中心波长（λc），峰值波长（λp），FWHM半高宽 | 光斑大小、椭圆度、发散角、功率分布等 | 斑发散角、能量空间分布、光斑准直度、对称度（IEC60825-2） | |
温控能力 | 5-85℃（标准）， | ||
电流源通道选择 | 取决于DUT结构，可由PXI基础配置 | ||
测量方法 | 双极，25W /通道，4线，CW和QCW | ||
电压范围 | ±100mV, ±300mV, ±600mV；±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V, | ||
电流范围 | ±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA | ||
电流脉冲宽度 | >100 μs | ||
脉冲占空比 | 20％ | ||
光学测试模块 | 带标定积分球和光谱仪 | 带自动对焦显微镜系统的CCD摄像头 | 高速CCD摄像头/标准板 |
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