英国Hiden公司的RGA Series残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，用于真空诊断和工艺工程的精确分析。
RGA Series残余气体分析四极质谱仪包括HAL RGA ，3F Series RGA和3F-PIC三种规格水平。
·PPM灵敏度
·通过RS232、USB或Ethernet连接计算机，MASsoft专业软件控制
·快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
·混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
·同步显示数据图，列表
·同步背景扣除，自动质量数列表
·数据输出为ASCII格式，至windows设备
·即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等
·质量数范围： 200，300 amu
·扫描速度： 100amu/s
·最小扫描步阶：0.01amu
·灵敏度： 0.1 ppm～1ppm
·稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%
Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)
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