测量显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
Hyper MF/MF-U
176 系列 — 高精度测量显微镜
特点
•高精度 XY 测量精度为
(0.9+3L/1000)µm。
•可选择 LAF (激光自动对焦) 功能。
•良好的操作性能和重复精度。
•三轴电动控制。
•标配电动自动聚焦装置。
性能参数
型号 Hyper MFB2515B
Hyper MFUB2515B
Hyper MFUD2515B
Hyper MFUE2515B
Hyper MFUF2515B
货号 (mm) 176-430* 176-431* 176-432* 176-433* 176-434*
观察类型 — BF BF 或 BF/BD BF BF 或 BF/BD
数显计数器 — — — — —
激光自动对焦功能 — — — 提供 提供
XY 工作台行程范围 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm
测量装置 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器 线性编码器
分辨率 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm 0.01µm
测量精度 (20ºC 时 ) (0.9+3L/1000)µm, L 为 XY 轴 为无负载测量长度 (mm)
驱动系统 (X, Y, Z 轴 ) 带操纵杆的电动驱动控制
XY 工作台台面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm
载物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm
旋转功能 ±3˚ ±3˚ ±3˚ ±3˚ ±3˚
台面大承重 30kg 30kg 30kg 30kg 30kg
大工件高度 150mm 150mm 150mm 150mm 150mm
* 为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀 : A 适于 UL/CSA, C 适于中国台湾 , D 适于 CEE, DC 适于 CCC, E 适于 BS, K 适于 EK, 无后缀适
于 JIS/100V