测量显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容
MF-U
176 系列 — 高倍率多功能测量显微镜
特点
•可观察清晰无闪光正像，且视场开阔。
•测量精度在同类设备中高
(符合 JIS B 7153 标准)。
•使用经过验证的FS光学系列高NA物镜(长
工作距离型)。
•金相显微镜和测量显微镜的功能相结合，
提供了高分辨率观察和高精度测量的方
法。
•照明装置 (反射／透射) 可选用高亮度 LED
灯泡或卤素灯泡 (必选)。
•利用可变孔径光阑 (反射／透射) 可进行无
衍射观察测量。
•各类标准工作台的尺寸大达到
400 × 200mm。
•快速释放装置便于在测量工件大或测量
工件数量多时快速移动工作台。
•高倍放大目镜，观察倍数高达 4000X。
•低噪音设计。
性能参数
型号 (XY 工作台尺寸 ) 1010C 2010C 2017C 3017C 4020C
货号 MF-UA 176-668* 176-669* 176-670* 176-671* 176-672*
MF-UB 176-688* 176-689* 176-690* 176-691* 176-692*
MF-UC 176-674* 176-675* 176-676* 176-677* 176-678*
MF-UD 176-694* 176-695* 176-696* 176-697* 176-698*
XY 工作台行程范围 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦 : 10mm/rev., 微调焦 : 0.1mm/rev.)
测量方法 线性编码器 (2 轴型 : X / Y 轴 , 3 轴型 : X / Y / Z 轴 )
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm
测量精度 (20ºC 时) XY 轴 : (2.2+0.02L)µm, L 为无负载测量长度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20ºC 时) Z 轴 : (5+0.04L)µm, L 为测量长度 (mm)
浮动功能 带有快速释放功能的 X 和 Y 轴
XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能 — — ±5˚ (左) ±5˚ (左) ±3˚ (左)
台面大承重 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
大工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
*在货号后加上以下后缀 (如 : 176-668-10): -10 适于英国手动用户 11 适于中国手动用户 , 无后缀适于日本手动用户
可选设备类型
设备类型 MF-UA MF-UB MF-UC MF-UD
观察类型 亮视场 (BF) 亮视场 (BF) 亮／暗视场 (BF/DF) 亮／暗视场 (BF/DF)
测量系统 X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴) X 和 Y 轴 (2 轴) X, Y 和 Z 轴 (3 轴)
照明装置
合适的照明装置 发光二极管 卤素灯
货号 176-346* 176-348*
注 ：因为“Generation C 类型"没有配备照明装置，所以必须选择 LED 照明装置或发光二极管照明装置
* 为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀 : A 适于 UL/CSA, C 适于中国台湾 , D 适于 CEE, DC 适于 CCC,
E 适于 BS, K 适于 EK, 无后缀适于 JIS/100V