高纯氮

气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。

基本信息

中文名称：高纯氮

外文名称：High purity nitrogen

化学式： N2

纯度：≥99.999% —99.9999%

物理性质

high purity nitrogen

分子式：N2

性质：纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。

相对密度：ds(21.1℃，空气=1)0.967

气体密度：1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa

液体密度：808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相对分子质量：28.013

熔点：63.15K,-210℃,-346oF

沸点：195.60℃

临界温度：126.1K,-147.05℃,-232.69oF

临界压力：3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

临界体积：90.1cm3/mol

临界密度：0.3109g/cm3

用途

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

消防应急措施与防护

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚，遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮，感到呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。

安全信息

· 危险类别：2.2

· 海关编码：2804300000

· 危险品运输编码：UN10662.2

· WGKGermany：-

· 安全说明：S38

· RTECS号：QW9700000