产品简介：

MF4300系列气体质量流量计是2008年发布的

MF4000系列气体质量流量计的第三代升级版。

MF4300 采 用 本 公 司 专 有 的 系列气体质量流量计

MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子

技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独

特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而

对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。

MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防

油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量

传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降

低。

MF4300系列气体质量流量计能直接测量气体质量流

量， 工作压力提高到 适用于各类清洁、干燥气体。MF4300

1 0MPa 0 10SLPM 0 200SLPM . ，测量范围涵盖 ~ 到 ~ 。 2

MF4300 多种信号输出，通过RS485 I C 通讯接口 提供 或 数字

可实现 。MF4300具备LED数字显示和 远程数据采集与设置

按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数

产品特点：

质量流量，时域传感技术

量程比100：1

全量程高度和优良的重复性

可测量多种气体不需要特别修正

模拟电压、RS485 Modbus、I C等多种输出信号 2

支持多种连接方式，易于安装与使用

工作原理：

MF4300系列的气体质量流量计是基于迪川仪器仪表有

限公司研制 流量传感芯片，其原理是利用流动气 MEMS

到气体的质量流量。

该流量计的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感

器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳

定的温度场分布。当有气体流过时，微热源周边会形成新

的温度场分布。MEMS芯片上的温度传感器将测量到具体的

温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理

后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的

气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变

化不同，所以能测量气体的质量流量。