高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉产品描述：
RTP快速升降温管式炉外形美观大方，结构设计合理。以卤素灯管为加热元件，采用双层壳体结构和智能化程序控温系统，炉膛采用多晶纤维材料，保温节能。
产品功能及特点：
1、加热元件采用卤素灯管加热，炉膛保温材料采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料。
2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1000℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、炉体配有：加热指示灯，炉子加热状态一目了然。
5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。
高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径100mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。
技术参数：
| 型号 | AS1200-PRT | |
| 温度控制 | 高温度点 | 1200℃ |
| 额定温度 | 1100℃ | |
| 稳定状态温度范围 | 200-1050℃ | |
| 温度测量精度 | ±0.2℃ | |
| 温度控制重复性 | ±1℃ | |
| 温度控制度 | ±1℃ | |
| 温度均匀性 | ±2℃ | |
| 温度状态工艺时间 | 7-32 S（200-1050℃） | |
| 快升温速率 | 30℃/S（可按需定制） | |
| 降温速率 | 1-200℃（将试样移出加热区域或通氮气可加快降温） | |
| 温度控制模式 | 智能模糊PID全闭环控制 | |
| 触摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
| 物理指标 | 大功率 | 18 Kw |
| 额定电压 | AC380V，50/60Hz | |
| 测温元件型号 | K型热电偶 | |
| 石英管规格 | Φ1001500 | |
| 真空度 | 选配分子泵真空度可达410-3Pa | |
| 抽气端口尺寸 | KF25或Φ6mm | |
| 进气端口尺寸 | Φ6mm | |
| 冷却方式 | 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） |
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