在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的 。

　　真空等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢剥离去除。下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例，说明这些作用。等离子体对油脂污垢的作用，类似于使油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧"。其基本原理:在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，油脂分子终被氧化成水和二氧化碳分子，并从物体表面被清除。

　　等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

　　等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。