等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

　　真空等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢剥离去除。下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例，说明这些作用。等离子体对油脂污垢的作用，类似于使油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧"。其基本原理:在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，油脂分子终被氧化成水和二氧化碳分子，并从物体表面被清除。

　　等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

　　等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

　　一、控制单元

　　国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

　　而控制单元又分为两个大的部分：

　　1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、、，其中是需要电源匹配器的。

　　2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

　　二、真空腔体：

　　真空腔体主要是分为两种材质的：

　　1）不锈钢真空腔体。

　　2）石英腔体。

　　三、真空泵：

　　真空泵分为两种：

　　1）干泵。

　　2）油泵。