X射线和β射线法是无接触无损测量，测量范围较小，X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。

　　Ux-720高分辨率CCD

　　260万像素的高清CCD摄像头，可有效的实时观察测试区域状况，并拍下物料照片，作为检测报告的组成部分。

　　Ux-720光管

　　功能：产生X射线激发样品，使激发的样品中的每一种元素放射出二次X射线。

　　使用时间：寿命大于万小时

　　电 压: 0 ~ 50 kV

　　功率: 50 W

　　靶 材：Mo

　　Be窗厚度：400um

　　Ux-720探测系统

　　功能：对样品特征X射线进行探测，将采集来的信号进行数据处理，并将处理结果传输给计算机。

　　类型：Si-PIN X-123(美国)

　　Be窗 1mil()

　　分辨率：145±5eV

　　系统峰背比：≥ 6200/1

　　能量响应范围：1keV — 40keV

　　推荐计数率：5000cps