INFICON薄膜沉积控制器IC6

特征

• INFICON ModeLock 技术可确保、分辨率和可用的厚度测量，即使在非常低的速率下

• Auto Z 通过在材料沉积时自动确定 Z 比来提高厚度精度

• 同时共沉积多达六个源

• 彩色 TFT LCD 显示屏使您可以轻松查看过程中发生的情况

• +/- Hz 超过 100 毫秒采样

• 用于屏幕截图、配方存储和数据记录的 USB 数据存储

• 强大的 I/O，可以灵活地集成到简单或复杂的系统中（使用可扩展的输入 (28) 和输出（24 个继电器，14 个 TTL 输出），并使用逻辑功能（100 个逻辑语句）

• 6 个 DAC 输出标准，6 个附加可选用于源控制、速率或厚度监控

• 最多可容纳 50 个进程，每个进程 200 层，进程最多可链接到 10,000 层

• 多传感器平均多达 8 个传感器

• 4 米 XIU 选项提供了在大型系统中使用长真空传感器电缆的能力

• 可选以太网通信

• 可选的 IC6 配置编辑器软件（部件号 781-620-G1） - 基于 LabVIEW® 的 Windows® 软件，允许离线创建和编辑 IC6 配置文件并将 IC/5 配置文件转换为 IC6 格式。

• 符合 RoHS

典型应用

• 光学镀膜