INFICON环境电容隔膜计SKY CDG025D

INFICON SKY CDG025D 电容膜片式高精度温度补偿压力计系列专为在恶劣的制造工具环境中保持稳定的性能而设计。

*的数字电子设备可提高仪表性能并提供易于操作的功能，例如一键归零功能和设定点调整。

耐腐蚀陶瓷传感器提供出色的零稳定性，预期寿命长达数百万次压力循环，包括大气爆裂。

的传感器屏蔽（正在申请）可保护仪表免受过程污染。

稳健的机械设计和数字电子设备提高了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。

CDG025D 为通电后的快速稳定性和从大气压力暴露中快速恢复设立了新标准。

好处

• 满量程范围从 100 mTorr … 1000 Torr

• 上电后快速稳定

• 从大气压中快速恢复

• 耐腐蚀陶瓷传感器

• 出色的长期信号稳定性

• 温度补偿

• 传感器免受污染

• 一键归零功能

• 宽范围电源

典型应用

• 用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备

• 数据存储和显示制造设备

• 工业真空设备

• 通用高精度压力测量