DF-750是半导体行业的水分分析仪

DF-750是针对300mm半导体制造中超高纯 (UHP) 气体测量而优化的一款微量级/超微量级水分分析仪。

方案

DF-750是针对300mm半导体制造过程而优化的一款分析仪，可以对一系列UHP气体进行微量级和超微量级水分测量。该款分析仪可以对电子工业级气体（包括氮气、氢气、氦气、氩气和氧气等）中的水分污染物进行测量。

可调谐激光二极管 (TDL) 传感技术可以提供的万亿分之100 (ppt) 的低检测限(LDL)，从而确保DF-750高度稳定和精确的测量结果满足半导体生产的精密监测需求。

坚固耐用的DF-750具有所需维护少和零漂移稳定性等特点，可大大延长标定间隔。低持有成本和测量性能使得DF-750成为UHP气体质量检验应用的分析解决方案。

可检测气体、测量范围和传感技术

采用、漂移为零、高度稳定的非损耗型TDL微量级传感技术，DF-750可对电子工业级气体进行微量级和超微量级水分测量。

Gas测量